溢海聯(lián)創(chuàng)

恩施膜厚儀常用解決方案

發(fā)布時(shí)間:    來源:溢海聯(lián)創(chuàng)   閱覽次數(shù):1次

干涉法與分光光度法都是利用相干光形成等厚干涉條紋的原理來確定薄膜厚度和折射率,然而與薄膜自發(fā)產(chǎn)生的等傾干涉不同,干涉法是通過設(shè)置參考光路,形成與測(cè)量光路間的干涉條紋,因此其相位信息包含兩個(gè)部分,分別是由參考平面和測(cè)量平面間掃描高度引起的附加相位和由透明薄膜內(nèi)部多次反射引起的膜厚相位。干涉法測(cè)量光路使用面陣CCD接收參考平面和測(cè)量平面間相干波面的干涉光強(qiáng)分布,不同于以上三種點(diǎn)測(cè)量方式,可一次性生成薄膜待測(cè)區(qū)域的表面形貌信息,但同時(shí)由于存在大量軸向掃描和數(shù)據(jù)解算,完成單次測(cè)量的時(shí)間相對(duì)較長。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以應(yīng)用于電子顯示器中的薄膜厚度測(cè)量。恩施膜厚儀常用解決方案

恩施膜厚儀常用解決方案,膜厚儀

開展白光干涉理論分析,在此基礎(chǔ)詳細(xì)介紹了白光垂直掃描干涉技術(shù)和白光反射光譜技術(shù)的基本原理,完成了應(yīng)用于靶丸殼層折射率和厚度分布測(cè)量實(shí)驗(yàn)裝置的設(shè)計(jì)及搭建。該實(shí)驗(yàn)裝置主要由白光反射光譜探測(cè)模塊、靶丸吸附轉(zhuǎn)位模塊、三維運(yùn)動(dòng)模塊、氣浮隔震平臺(tái)等幾部分組成,可實(shí)現(xiàn)靶丸的負(fù)壓吸附、靶丸位置的精密調(diào)整以及靶丸360°范圍的旋轉(zhuǎn)及特定角度下靶丸殼層白光反射光譜的測(cè)量。基于白光垂直掃描干涉和白光反射光譜的基本原理,建立了二者聯(lián)用的靶丸殼層折射率測(cè)量方法,該方法利用白光反射光譜測(cè)量靶丸殼層光學(xué)厚度,利用白光垂直掃描干涉技術(shù)測(cè)量光線通過靶丸殼層后的光程增量,二者聯(lián)立即可求得靶丸折射率和厚度數(shù)據(jù)。青浦區(qū)新品膜厚儀白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)是一種測(cè)量薄膜厚度的方法。

恩施膜厚儀常用解決方案,膜厚儀

光具有傳播的特性,不同波列在相遇的區(qū)域,振動(dòng)將相互疊加,是各列光波獨(dú)自在該點(diǎn)所引起的振動(dòng)矢量和。兩束光要發(fā)生干涉,應(yīng)必須滿足三個(gè)相干條件,即:頻率一致、振動(dòng)方向一致、相位差穩(wěn)定一致。發(fā)生干涉的兩束光在一些地方振動(dòng)加強(qiáng),而在另一些地方振動(dòng)減弱,產(chǎn)生規(guī)則的明暗交替變化。任何干涉測(cè)量都是完全建立在這種光波典型特性上的。下圖分別表示干涉相長和干涉相消的合振幅。與激光光源相比,白光光源的相干長度在幾微米到幾十微米內(nèi),通常都很短,更為重要的是,白光光源產(chǎn)生的干涉條紋具有一個(gè)典型的特征:即條紋有一個(gè)固定不變的位置,該固定位置對(duì)應(yīng)于光程差為零的平衡位置,并在該位置白光輸出光強(qiáng)度具有最大值,并通過探測(cè)該光強(qiáng)最大值,可實(shí)現(xiàn)樣品表面位移的精密測(cè)量。此外,白光光源具有系統(tǒng)抗干擾能力強(qiáng)、穩(wěn)定性好且動(dòng)態(tài)范圍大、結(jié)構(gòu)簡單,成本低廉等優(yōu)點(diǎn)。因此,白光垂直掃描干涉、白光反射光譜等基于白光干涉的光學(xué)測(cè)量技術(shù)在薄膜三維形貌測(cè)量、薄膜厚度精密測(cè)量等領(lǐng)域得以廣泛應(yīng)用。

薄膜作為一種特殊的微結(jié)構(gòu),近年來在電子學(xué)、摩擦學(xué)、現(xiàn)代光學(xué)得到了廣泛的應(yīng)用,薄膜的測(cè)試技術(shù)變得越來越重要。尤其是在厚度這一特定方向上,尺寸很小,基本上都是微觀可測(cè)量。因此,在微納測(cè)量領(lǐng)域中,薄膜厚度的測(cè)試是一個(gè)非常重要而且很實(shí)用的研究方向。在工業(yè)生產(chǎn)中,薄膜的厚度直接關(guān)系到薄膜能否正常工作。在半導(dǎo)體工業(yè)中,膜厚的測(cè)量是硅單晶體表面熱氧化厚度以及平整度質(zhì)量控制的重要手段。薄膜的厚度影響薄膜的電磁性能、力學(xué)性能和光學(xué)性能等,所以準(zhǔn)確地測(cè)量薄膜的厚度成為一種關(guān)鍵技術(shù)。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度的在線檢測(cè)和自動(dòng)控制。

恩施膜厚儀常用解決方案,膜厚儀

由于不同性質(zhì)和形態(tài)的薄膜對(duì)系統(tǒng)的測(cè)量量程和精度的需求不盡相同,因而多種測(cè)量方法各有優(yōu)缺,難以一概而論。將上述各測(cè)量特點(diǎn)總結(jié)如表1-1所示,按照薄膜厚度的增加,適用的測(cè)量方式分別為橢圓偏振法、分光光度法、共聚焦法和干涉法。對(duì)于小于1μm的較薄薄膜,白光干涉輪廓儀的測(cè)量精度較低,分光光度法和橢圓偏振法較適合。而對(duì)于小于200nm的薄膜,由于透過率曲線缺少峰谷值,橢圓偏振法結(jié)果更加可靠。基于白光干涉原理的光學(xué)薄膜厚度測(cè)量方案目前主要集中于測(cè)量透明或者半透明薄膜,通過使用不同的解調(diào)技術(shù)處理白光干涉的圖樣,得到待測(cè)薄膜厚度。本章在詳細(xì)研究白光干涉測(cè)量技術(shù)的常用解調(diào)方案、解調(diào)原理及其局限性的基礎(chǔ)上,分析得到了常用的基于兩個(gè)相鄰干涉峰的白光干涉解調(diào)方案不適用于極短光程差測(cè)量的結(jié)論。在此基礎(chǔ)上,我們提出了基于干涉光譜單峰值波長移動(dòng)的白光干涉測(cè)量解調(diào)技術(shù)。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以應(yīng)用于納米制造中的薄膜厚度測(cè)量。益陽膜厚儀廠家現(xiàn)貨

白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)的發(fā)展將促進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步。恩施膜厚儀常用解決方案

本章主要介紹了基于白光反射光譜和白光垂直掃描干涉聯(lián)用的靶丸殼層折射率測(cè)量方法。該方法利用白光反射光譜測(cè)量靶丸殼層光學(xué)厚度,利用白光垂直掃描干涉技術(shù)測(cè)量光線通過靶丸殼層后的光程增量,二者聯(lián)立即可求得靶丸折射率和厚度數(shù)據(jù)。在實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)處理方面,為解決白光干涉光譜中波峰位置難以精確確定和單極值點(diǎn)判讀可能存在干涉級(jí)次誤差的問題,提出MATLAB曲線擬合測(cè)定極值點(diǎn)波長以及利用干涉級(jí)次連續(xù)性進(jìn)行干涉級(jí)次判定的數(shù)據(jù)處理方法。應(yīng)用碳?xì)?CH)薄膜對(duì)測(cè)量結(jié)果的可靠性進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。恩施膜厚儀常用解決方案

本文來自溢海聯(lián)創(chuàng):http://www.cce2139.cn/Article/88a94598966.html

    76 人參與回答
最佳回答
云南耐腐蝕PEEK晶片夾源頭廠家

云南耐腐蝕PEEK晶片夾源頭廠家

PE 等 98 人贊同該回答

PEEK吸筆頭,PEEK晶片夾,PEEK晶圓鑷子,PEEK晶圓處理工具,采用耐高溫、防靜電的PEEK做接觸的真空吸筆盤面,后接真空發(fā)生器,可以持續(xù)性的保持良好的真空來源,同時(shí)PEEK具有耐高溫、耐磨損 。

湖北大樓亮化工程商推薦
湖北大樓亮化工程商推薦
第1樓
企業(yè) 等 95 人贊同該回答

企業(yè)選擇樓宇亮化工程的好處是什么?首先,樓宇亮化可以增強(qiáng)建筑物的美感和吸引力。根據(jù)建筑物的風(fēng)格、功能、文化等特點(diǎn),設(shè)計(jì)出符合主題的燈光方案,使建筑物在夜晚更加醒目、動(dòng)感、藝術(shù)。這樣可以增加建筑物的觀賞 。

床墊生產(chǎn)廠家
床墊生產(chǎn)廠家
第2樓
在當(dāng) 等 19 人贊同該回答

在當(dāng)今快節(jié)奏的生活中,良好的睡眠對(duì)于我們的身心健康至關(guān)重要。床墊作為睡眠環(huán)境的重要組成部分,其品質(zhì)直接影響到我們的睡眠質(zhì)量。乳膠床墊作為一種新型的床墊,因其綠色、環(huán)保、舒適的特點(diǎn)逐漸受到消費(fèi)者的青睞。 。

床墊生產(chǎn)廠家
床墊生產(chǎn)廠家
第3樓
在當(dāng) 等 54 人贊同該回答

在當(dāng)今快節(jié)奏的生活中,良好的睡眠對(duì)于我們的身心健康至關(guān)重要。床墊作為睡眠環(huán)境的重要組成部分,其品質(zhì)直接影響到我們的睡眠質(zhì)量。乳膠床墊作為一種新型的床墊,因其綠色、環(huán)保、舒適的特點(diǎn)逐漸受到消費(fèi)者的青睞。 。

黑龍江官方SIS儀表安全保護(hù)系統(tǒng)的行業(yè)須知
黑龍江官方SIS儀表安全保護(hù)系統(tǒng)的行業(yè)須知
第4樓
設(shè)定 等 15 人贊同該回答

設(shè)定存儲(chǔ)模塊的剩余存儲(chǔ)容量記為h,利用公式j(luò)x=b1/h獲取得到存儲(chǔ)界限值jx,將存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)時(shí)間與系統(tǒng)當(dāng)前時(shí)間進(jìn)行對(duì)比獲取得到時(shí)間差,利用公式獲取得到存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)值uek;當(dāng)uek>j 。

東莞長安格力中央空調(diào)多聯(lián)機(jī)安裝保養(yǎng)
東莞長安格力中央空調(diào)多聯(lián)機(jī)安裝保養(yǎng)
第5樓
深圳 等 73 人贊同該回答

深圳市量能機(jī)電有限公司作為一家一直在深圳服務(wù)的中央空調(diào)公司,對(duì)深圳本土的環(huán)境相對(duì)比較了解,在中央空調(diào)設(shè)計(jì)方面可以更貼近深圳業(yè)主的需求。公司立足深圳在售后這塊是有保障的。中央空調(diào)各和分體機(jī)是完全不同意義 。

北京公路無鏈條自行車多少錢
北京公路無鏈條自行車多少錢
第6樓
無鏈 等 12 人贊同該回答

無鏈條軸傳動(dòng)系統(tǒng)具有許多優(yōu)點(diǎn)。首先,它們更可靠,因?yàn)闆]有鏈條掉落或損壞的風(fēng)險(xiǎn)。其次,它們需要更少的維護(hù),因?yàn)闆]有鏈條需要清洗和潤滑。它們可以提供更高效的能量傳遞,因?yàn)闆]有鏈條的彈性和摩擦損失。然而,無 。

番禺區(qū)代理發(fā)熱線聯(lián)系方式
番禺區(qū)代理發(fā)熱線聯(lián)系方式
第7樓
硅膠 等 44 人贊同該回答

硅膠發(fā)熱線有哪些特點(diǎn)?硅膠發(fā)熱線是一種高科技產(chǎn)品,具有獨(dú)特的特點(diǎn)和多面的使用范圍,它可以在極端的環(huán)境下工作,比如高溫、低溫、潮濕、腐蝕等條件下。都能保持穩(wěn)定的性能,是一種非常耐受高溫的加熱元件。高溫耐 。

北京公路無鏈條自行車多少錢
北京公路無鏈條自行車多少錢
第8樓
無鏈 等 46 人贊同該回答

無鏈條軸傳動(dòng)系統(tǒng)具有許多優(yōu)點(diǎn)。首先,它們更可靠,因?yàn)闆]有鏈條掉落或損壞的風(fēng)險(xiǎn)。其次,它們需要更少的維護(hù),因?yàn)闆]有鏈條需要清洗和潤滑。它們可以提供更高效的能量傳遞,因?yàn)闆]有鏈條的彈性和摩擦損失。然而,無 。

湖南自動(dòng)化立體庫堆垛機(jī)批發(fā)
湖南自動(dòng)化立體庫堆垛機(jī)批發(fā)
第9樓
堆垛 等 74 人贊同該回答

堆垛機(jī)機(jī)械安全檢測(cè)裝置是一種用于檢測(cè)堆垛機(jī)工作狀態(tài)的安全裝置,能夠有效地檢測(cè)堆垛機(jī)的位置、速度、故障等信息,從而保障工業(yè)生產(chǎn)的安全性和穩(wěn)定性。校準(zhǔn)和維護(hù):堆垛機(jī)機(jī)械安全檢測(cè)裝置應(yīng)該具有校準(zhǔn)和維護(hù)功能。 。

湖北新能源汽車充電樁定制
湖北新能源汽車充電樁定制
第10樓
高新 等 86 人贊同該回答

高新技術(shù)成果在交流充電樁,分體式直流充電樁,直流一體充電樁迅速推廣應(yīng)用。能源工業(yè)正在由低技術(shù)向高技術(shù)過渡,新技術(shù)已迅速地滲透到能源勘探、開發(fā)、加工、轉(zhuǎn)換、輸送、利用的各個(gè)環(huán)節(jié),例如自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備使煤礦 。

此站點(diǎn)為系統(tǒng)演示站,內(nèi)容轉(zhuǎn)載自互聯(lián)網(wǎng),所有信息僅做測(cè)試用途,不保證內(nèi)容的真實(shí)性。不承擔(dān)此類 作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。

如若本網(wǎng)有任何內(nèi)容侵犯您的權(quán)益,侵權(quán)信息投訴/刪除進(jìn)行處理。聯(lián)系郵箱:10155573@qq.com

Copyright ? 2005 - 2023 溢海聯(lián)創(chuàng) All Rights Reserved 網(wǎng)站地圖